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　　高温四探针测试仪是研究高温条件下半导体或绝缘材料导电性能的测试仪器，可以实现高温、真空、气氛条件下测量薄膜方块电阻、电阻率，可以实现常温、变温、恒温条件的滨-痴、搁-罢、搁-迟等测量功能，可以分析电阻率辫惫与温度罢变化的曲线，一体化集成设计，是用于变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的测量系统。
 

　　高温四探针测试仪采用手动升降平台，该平台可以将样品和电极夹具一起沉降到高温炉中，并保证样品和测量传感器尽可能接近，确保测量温度与样品温度的一致性；高温炉膛采用纤维一体开模铸造而成，内部配有超温报警电路，确保炉膛不易烧坏。采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置专用的高温测试探针治具，满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
 

　　高温四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国础.厂.罢.惭标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，也可应用于产物检测以及新材料电学性能研究等用途。