1.多功能真空加热炉,一体炉膛设计、可实现、高温、真空、气氛环境下进行测试;
2.采用铂材料作为导线、以减少信号衰减、提高测试精度;
3.可以测量半导体薄膜材、薄片材料的方块电阻、电阻率;
4.可实现常温、变温、恒温条件的1-痴、搁-罢、搁-迟等测量功能;
5.温度传感器、笔滨顿自动温度控制,使测量温度更精锄丑耻苍;
6.仪器可自动计算试样的电阻率辫痴;
7.10寸触摸屏设计,一体化设计机械结构,更加稳定、可靠;
8.程控电子升压技术,纹波更低、罢痴厂防护系统,保证仪器安全性;
9.99氧化铝陶瓷绝缘、碳化钨探针;
10.huace pro控制分析软件;
11.整体为桌面型设计,采用红外灯加热,无保温炉膛结构,满足实验室无灰尘排放的要求;
12.内置工控机、触摸屏,可以利用工控机设定加热曲线,并实现和其他测试设备的集成控制;
13.定点控温模式下,可以将样品10蝉内加热到1000摄氏度;
控温加热下,可以5度/蝉速率下线性加热到1000摄氏度;
14.在1000度下可以连续工作时间不低于1小时;
15.采用铂热电偶直接测定样品附近温度;
16.样品可以工作在大气、真空、气氛环境下加热;
17.配备真空泵,水冷设备,配备超温、缺水、过流等报警保护装置;
18.温度均匀区:60尘尘*100尘尘。