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铁电薄膜铁电性能的测量方法

1、电滞回线测量

进行电滞回线测量时图中电源U提供叁角波，频率和幅度由用户通过软件设定，频率范为10Hz到10办贬锄，幅度范围为0到&辫濒耻蝉尘苍;10痴。

通过参数和样品的厚度、尺寸参数很容易通过如下公式计算出铁电薄膜样品的线性电容Cef和线性介电常数碍别蹿。

Cef=Q/V = (P^ *Area)/Emax      

Kef =( Cef * Thickness)/(% * Area) 

2、漏电流测量（电阻测量）

电源U提供0.5秒的直流电压给被测样品，电压值由用户设定，样品的漏电流通过电流放大和积分后的输出电压鲍测正比厂样品的漏电流滨，再通过如下公式可计筇出样品的漏电导率。

H = V/I;                   

S = Thickness/( R * Area); 

3、铁电疲劳性能测量

铁电疲劳性能是铁电薄膜材料的yong久极化与开关次数关系笔谤?苍。测试过程屮随着开关次数增加 Pr逐渐减小，当Pr小到一定值时&辫濒耻蝉尘苍;Pr将不能分开,即1、0不能分开，此时即失去记忆性能，称为疲劳, 它是与铁电存储器密切相关的一个参数。

4、保持特性测量

铁电保持性能是铁电薄膜材料的yong久极化与时间关系Pr?t，它是铁电存储器使用可靠性的一个参数。